年 |
回 |
真空科学論文賞 |
真空技術賞 |
真空進歩賞 |
真空会誌賞 |
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| 2013 | 38 | 該当無し | 活性酸素を利用した医療用滅菌器およびそのモニター開発 | 吉野 潔・松本 裕之・岩崎 達行・木下 忍（岩崎電気株式会社）， 野田 和俊（産業技術総合研究所），岩森 暁（東海大学工学部） | 22 | ルチルチタニア表面上の水の吸着及び解離に関する密度汎関数解析 | Susan Menez ASPERA（大阪大学大学院工学研究科） | 2 | 真空・薄膜徒然草1-20 | 金原 粲（東京大学名誉教授） | |
| 2012 | 37 | 該当無し | 環境制御型透過電子顕微鏡の開発とその応用 | 矢口 紀恵・長久保 康平・松本 弘昭・柿林 博司（株式会社日立ハイテクノロジーズ）， 上野 武夫（山梨大学燃料電池ナノ材料研究センター） | 21 | Aｇ(111)表面上の水素分子のオルソ・パラ転換におけるファン・デル・ワールス力の影響 | 國貞 雄治（大阪大学大学院工学研究科） | 1 | 物理的蒸着法による薄膜のナノ形態制御 | 鈴木 基史（京都大学大学院工学研究科） | |
| Formation of WO3 Reduction Coloring Thin Film Using a Combination Sputter-ing Method Featuring Radio-Frequency Oxygen Plasma Irradiation | 野口 大輔（都城工業高等専門学校物質工学科） | ||||||||||
| 2011 | 36 | 該当無し | 小型高性能力覚センサを用いたロールツーロールスパッタ装置用張力計測システム | 近藤真也・玉置肇（株式会社アサヒ電子研究所），小川倉一（小川創造技術研究所） | 20 | 隔膜真空計を用いた圧力測定のための熱遷移補正 | 吉田肇（独立行政法人産業技術総合研究所） | ||||
| 極高真空測定子（Bent Belt-Beam Gauge Head）の開発 | 渡辺文夫（有限会社真空実験室） | ||||||||||
| 2010 | 35 | テーパー管の通過確率の近似式 | 松田七美男（東京電機大学） | ３次元立体アルミニウムマスクを用いたシリコン基板の反応性イオンエッチング加工技術の開発 | 勝又 信行・石田 正文（山梨県工業技術センター） | 19 | Pt表面における分子反応の研究 | 近藤 剛弘（筑波大） | |||
| 半導体デバイス解析用局所プラズマ加工装置の開発 | 新堀 俊一郎・白山 裕也・川上 辰男・横須賀 俊太郎 ・樫村 健太（株式会社三友製作所），清水 哲夫・内藤 泰久・徳本 洋志（産総研） | ||||||||||
| 2009 | 34 | 該当無し | 「硬質BN膜の切削工具への応用」 | 野間正男，小松永治（神港精機株式会社），所敏夫（滋賀県東北部工業技術センター），小川圭二，中川平三郎（滋賀県立大学） | 18 | 該当無し | |||||
| 2008 | 33 | 「ラジカル窒化シリコン酸窒化膜の形成と評価」 | 河瀬和雅（三菱電機）・梅田浩司・井上真雄（ルネサステクノロジ）・諏訪智之・寺本章伸・大見忠弘（東北大学） | 「マイクロ／ナノイオンビームの生成技術」 | 成沢 忠（高知工科大学）、根引拓也（高知工科大学） | 17 | 「高速陽子の散乱を用いたイオン結晶表面の構造解析」 | 深澤優子（大阪教育大学教育学部） | |||
| 「ネオン固体表面上からイオン衝撃脱離するクラスターイオンの観測」 | 立花隆行（立教大学先端科学計測研究センター） | ||||||||||
| 2007 | 32 | 「熱尖端流によって駆動される真空ポンプ内の希薄気流の数値解析」 | 杉元宏（京大） | 「チタンの真空特性の研究と真空材料としての応用」 | 栗巣普揮，山本節夫，松浦満（山口大学工学部），石澤克修，野村健，村重信之（三愛プラント工業株式会社），森本高志，部坂正樹（新光産業株式会社），宗山悦博，竹田将利，國重敦弘，中川浜三，白水啓太，二井裕之（株式会社UBE科学分析センター） | 16 | 「リアルタイム光電子分光観察を用いた表面研究」 | 小川修一（東北大学多元物質科学研究所） | |||
| 「大口径・長尺アルミナセラミックダクトの製作」 | 壁谷善三郎 （三菱重工業株式会社），金正倫計 （原子力開発研究機構），齊藤芳男 （高エネルギー加速器研究機構），荻原徳男 （原子力開発研究機構） | ||||||||||
| 2006 | 31 | 該当無し | 「超高真空用残留ガス分析計の開発」 | 渡辺文夫（㈲真空実験室） | 15 | 「高濃度オゾンガス局所リアルタイム濃度測定法の開発」 | 佐藤陽亮（産業技術総合研究所，東京理科大学） | ||||
| 「鏡面反射成分を考慮したオリフィス透過確率のモンテカルロシミュレーション」 | 城真範（産業技術総合研究所） | ||||||||||
| 2005 | 30 | 「Si(100)上ゲルマン吸着に伴う水素移動とGe/Si原子交換の観察」 | 村田威史，末光眞希（東北大学学際科学国際高等センター） | 「ねじれを吸収する溶接偏芯ベローズの開発」 | 津金洋之，清水広幸，三柴隆（㈱ミラプロ），吉岡正人（山梨大学工学部） | 14 | 該当無し | ||||
| 「アークプラズマガンを用いた新規材料GeC薄膜の「分子線エピタキシー成長」」 | 布下正宏，太田淳（奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科），沖仲元毅（理化学研究所ナノサイエンス研究技術開発支援チーム） | ||||||||||
| 2004 | 29 | 該当無し | 1.｢高感度同軸対称鏡型電子エネルギー分析器の製作と評価，コインシデンス分光への応用｣2.｢極角分解ミニチュア飛行時間型イオン質量分析器の製作と評価，電子－イオンコインシデンス分光への応用｣ | 漁剛志，田中健一郎，吉田啓晃（広島大学大学院理学研究科），上野信雄，奥平幸司，森正信（千葉大学工学部），小林英一，間瀬一彦（物質構造科学研究所），下條竜夫（分子科学研究所，長岡伸一（愛授大学理学部物質理学科化学系） | 13 | 「超高真空対応配向分子線ビームラインの開発」 | 盛谷浩右（大阪大学大学院理学研究科化学専攻） | ||||
| 「デュアルイオンビームスパッタ法を用いたAu超薄膜の作製とその紫外域透明電極への応用」 | 岩坪聡（富山県工業技術センター） | ||||||||||
| 2003 | 28 | ｢走査トンネル顕微鏡によるCu(111)上のCOの分子操作に関する理論｣ | 的場賢一，三浦良雄，笠井秀明，中西'寛(大阪大学)，三浦良雄(科学技術振興財団)，興地斐男(和歌山工業高等専門学校) | ｢特殊形状ベローズを用いたドライポンプの開発｣ | 村上義夫，湯山純平(㈱アルバック) | 12 | ｢Ti(0001)単結晶表面での水素吸収過程に関する研究｣ | Markus Wilde (東京大学生産技術研究所) | |||
| 2002 | 27 | 該当無し | 「カーボンナノチューブを電子源とした超高輝度光源管の開発」 | 余谷純子，上村佐四郎，長廻武志，倉知宏行，山田弘，江崎智隆（伊勢電子工業開発部），斎藤弥八（三重大学工学部），安藤義則，超新洛（名城大学理工学部），湯村守雄（産業技術総合研究所新炭素系材料開発センター） | 11 | 「Pd（111）表面における水素原子の吸収反応」 | 信原邦啓（大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻在学) | ||||
| 「リチウムイオンの付加反応を利用した質量分析法の開発」 | 岩瀬啓一郎，藤井敏博（国立環境研究所），中村恵（アネルバ㈱） | ||||||||||
| 2001 | 26 | ｢負イオン注入によるポリスチレン表面の神経細胞接着特性の改質とパターン化処理 」 | 辻博司，佐藤弘子，佐々木仁志，後藤康仁，石川順三（京都大学大学院） | 「磁石内蔵型冷陰極マグネトロン真空計の開発」 | 麻蒔立男，八木原美奈，増井典明，三浦勉（東京理科大学工学部電気工学科） | 10 | 「シリコン表面でのビスマスナノワイヤの発見と物性探索」 | 内藤正路（九州工業大学工学部） | |||
| 「熱エネルギー原子線散乱法による吸着脱離過程の測定」 | 柳生進二郎（筑波大学物理工学系） | ||||||||||
| 2000 | 25 | 該当無し | ｢真空遮断器・開閉器用たる形ベローズの開発｣ | 森田歩，梶原悟，谷水徹(㈱日立製作所)，高橋正行(㈱三菱電機)，橋本隆範(㈱久世ベーローズエ業)，四元善治(㈱東京電力) | 9 | ｢ガスケットの変形挙動観察および内部応力解析に基づくコンフラットシール機構の考察とテーパーシール型ガスケットの開発」 | 黒河内智(日本バックスメタル㈱) | ||||
| 1999 | 24 | 「プラズマ中のダスト挙動の解析とクーロン結晶の形成」 | 林康明，高橋和生，佐藤英則（京都工芸大学工学部） | 「真空ガラス「スペーシア」の開発」 | 河原秀夫，御園生雅郎，浅野修，加藤英美（日本板硝子㈱），Richard E. Collins（シドニー大学物理学教室） | 8 | 「UHV/ＸHV真空材料の表面処理技術の開発とその実用化」 | 稲吉さかえ（日本真空技術㈱筑波超材料研究所） | |||
| 1998 | 23 | 「ステンレス鋼製真空容器における水分子の吸着－付着確率の測定による研究－」 | 辻 泰，田中智成，竹内協子（㈱アルバック・コーポレートセンター） | 「Bessel-Box形エネルギーフィルターを用いた極高真空用電離真空計－Axial-Symmetric Transmission Gauge（ATゲージ）－」 | 秋道斉，荒井孝夫，田中智成，竹内協子，辻泰（㈱アルバック・コーポレートセンター），高橋直樹，黒川裕次郎（日本真空技術㈱），荒川一郎.（学習院大学理学部） | 7 | 「原子間力顕微鏡探針を用いた加圧変調ナノメータ記録」 | 小柳肇（㈱日立製作所基礎研究所） | |||
| 1997 | 22 | 「ターポ分子ポンプ自身のガス放出の定量評価」 | 尾高憲二（㈱日立製作所） | 「ポリイミド銅積層体の接着機構の解析と接着力低下防止に関する研究」 | 岩森暁，宮下武博，福田 伸，福田信弘，須藤和冬（三井化学㈱） | 6 | 該当無し | ||||
| 1996 | 21 | 該当無し | 「大電流ホローカソード放電型イオンプレーティング技術の開発」 | 井口征夫，鈴木ー弘（川崎製鉄㈱），大久保治，高橋夏木，平岩秀行（日本真空技術㈱） | 5 | 「低エネルギーイオン・プラズマの利用技術の開発と高品質薄膜形成への応用に関する研究」 | 岡本昭夫（大阪府立産業技術総合研究所） | ||||
| 1995 | 20 | 「Atomic-order 3-D Compositional Deterrmination of the surface oxide Layers Formed on Stainless Steel with Special Reference to Preperation of Extremely Low outgassing Surface」 | 石川雄一，大城戸忍，吉村敏彦（㈱日立製作所機械研究所） | 「Analysis of TMP’s Ultimate Pressure and Development of XHV-TMP and XHV-CMP」 | 井口昌司，岡本正智（㈱大阪真空機器製作所），沢田雅（秋田大学） | 4 | 「極高真空領域での圧力計測に関する研究」 | 関根重幸（電子技術総合研究所） | |||
| 1994 | 19 | 「GaAs（100）微傾斜面上のAlGaAs分子線成長と量子細線構造の形成」 | 中島尚男，木村憲泰，佐藤正道，岩根正晃，井上恒－，前橋兼三，長谷川繁彦，松田理，邑瀬和生（大阪大学） | 「スピニングローター真空計を中心とした真空標準に関する研究」 | 平田正紘（電子技術総合研究所） | 3 | 「極高真空システムに関連した一連の研究」 | 土佐正弘（金属材料技術研究所） | |||
| 1993 | 18 | 「四極子質量分析計におけるイオン軌道解析(Ｉ），(II)」 | 廣木成治,阿部哲也,村上義夫(日本原子力研究所) | 「超高真空領域の計測技術の開発」 | 渡辺文央（助川電気工業㈱） | 2 | 「XUVスループット装置を用いたステンレス鋼チャンバーからのガス放出特性] | 斎藤一也（日本真空技術㈱） | |||
| 1992 | 17 | 「電子励起イオン脱離実験による真空の質の検討」 | 上田一之（大阪大学） | 「周波数計測による低真空領域の光学式圧力センシング」 | 稲葉成基（岐阜工業高等専門学校），羽根一博（名古屋大学） | 1 | 「ピエゾバルブを用いた流量計測機能付きガス導入装置の試作」 | 伴野達也（東京大学） | |||
| 1991 | 16 | 該当無し | 「アルミナ高周波窓の破壊現象とその防止法」 | 斉藤芳男，穴見昌三，松田七美男，道園真一郎，金原粲 | |||||||
| 1990 | 15 | 「レーザを用いた圧力計測」1.各種気体のレーザイオン化特性, 2.レーザ生成イオンの新しい検出システム | 1.国分清秀，一村信吾，清水肇（電子技術総合研究所） 2.ー村信吾，国分清秀，清水肇（電子技術総合研究所） | 「ステンレス鋼の放出ガス速度の低減に関する研究」 | 石川雄一，尾高憲二，上田新次郎，蒲原秀明（㈱日立製作所機械研究所） | ||||||
| 1989 | 14 | 「コンダクタンス変調法による超高真空での真空ポンプの排気速度測定」 | 寺田啓子，岡野達雄，辻泰（東京大学生産技術研究所） | 「ナイフエッジ型メタルシールフランジの改良に関する検討」 | 小原建治郎，中村和幸，村上義夫（日本原子力研究所那珂研究所），長沼正光，喜多村和憲，内田孝穂（㈱東芝重電技術研究所）近勝光昇（㈱東芝原子エネルギー開発室） | ||||||
| 1988 | 13 | ｢長い一様断面パイプの分子流コンダクタンスの解析と考え方｣ | 堀越源一(高エネルギー物理学研究所) | 「超高真空用ステッピングモータの開発｣ | 楠勲，村上純一，照井佳幸(東北大学科学計測研究所)，小林隆(光洋精工㈱)，百目鬼英雄（オリエンタルモータ㈱中央研究所） | ||||||
| 「真空蒸着亜鉛めっきラインの開発」 | 弘津秀雄（三菱重工業㈱広島製作所），前田正恭（日新製鋼㈱） | ||||||||||
| 1987 | 12 | ｢ニッケル・銅二元合金における表面偏析｣ | 橋詰富博，小林明子，桜井利夫(東京大学物性研究所) | ｢電界放射型電子銃のための極高真空装置｣ | 石沢芳夫，青木進，大島忠平，大谷茂樹(無機材質研究所) | ||||||
| 1986 | 11 | 「水晶振動子を用いた摩擦真空計の理論」 | 国分清秀，平田正紘，小野雅敏，村上寛，戸田義継（電子技術総合研究所） | 該当無し | |||||||
| 1985 | 10 | 「熱陰極電離真空計の比感度係数（1）一衝立型電離真空計」 | 美馬宏司，清井栄信，八木邦夫，兼松太（大阪市立大学） | 「ヘリウム・スニッファ法による洩れ探知技術の改良」 | 村上義夫，下村安夫，阿部哲也，小原建治郎（日本原子力研究所那珂研究所） | ||||||
| 「新型複合分子ポンプ」 | 沢田雅（秋田大学鉱山学部），(株)大阪真空機器製作所 | ||||||||||
| 1984 | 9 | 1.「励起中性粒子検出を用いた指向性真空計の研究」2.「指向性真空計による真空装置の洩れ検出一点状気体放出源の測定に関する解析」 | 荒川一郎，金文沢，辻 泰（東京大学生産技術研究所） | 「全金属製ゲートバルブ」 | (株)岸川特殊バルブ、日本原子力研究所核融合センター | ||||||
| 1983 | 8 | 1.「イオンプレーティングのための大電流長寿命陰極の研究」2.「大面積イオンプレーティングのための高能率シートプラズマ」3.「大体積イオンプレーティングのための大直径プラズマ」4.「高融点金属イオンプレーティングのための電子加速型プラズマ」 | 浦本上進（名古屋大学プラズマ研究所） | 「二次イオン質量分析の研究」 | 田村一二三（㈱日立製作所） | ||||||
| 「低速イオン散乱」 | 青野正和（無機材質研究所） | ||||||||||
| 1982 | 7 | 「銅ニッケル合金の高温スパッタリング：イオン誘起拡散と金属組織の役割」 | 清水肇（電子技術総合研究所） | 「アルミニウム合金を用いた超高真空装置の開発」 | 石丸肇（高エネルギー物理学研究所），石川島播磨重工業㈱ | ||||||
| 「マルチパクターイオンポンプ」 | 横尾邦義，小野昭一（東北大学電気通信研究所） | ||||||||||
| 1981 | 6 | 「イオンドーピングを併用したSi分子線エピタキシャル成長」 | 杉浦英雄，山口真史（日本電信電話公社） | 「電子サイクロトロン共鳴プラズマによる放電洗浄技術の開発」 | 坂本雄一，石部行雄，大山等，矢野勝喜，岡崎清比古，石井成行（理化学研究所，日本原子力研究所，名古屋大学プラズマ研究所） | ||||||
| 1980 | 5 | 「Cu-Ni合金の表面偏析ならびに変質層の生成過程」 | 柿林博司，毛利衛，渡辺国昭，山科俊郎（北海道大学） | 「超高真空用メタル中空Ｏリングの開発」 | ㈱富士テルモ | ||||||
| 1979 | 4 | 「オージェ電子分光法による不純物の定量分析」 | 藤原賢三，金山清，大谷誠，尾形仁士（三菱電機㈱） | 「同軸・多極・同軸多極混入真空端子の開発」 | 石丸肇（高エネルギー物理学研究所） | ||||||
| 1978 | 3 | 「エピタキシャル膜の局所的格子変形のＸ線二結晶トポグラフ法による測定」 | 入戸野修（東京工業大学），清水三郎（日本真空技術㈱） | 「核融合装置第一壁材料のスパッタリング実験装置の開発」 | 日本原子力研究所核融合研究部，日本真空技術㈱ | ||||||
| 1977 | 2 | 該当無し | 「真空計測用遷移金属炭化物皮膜エミッタ」 | 北条久男，中山勝矢（電子技術総合研究所） | |||||||
| 「高速連続スパッタ装置」 | 日電バリアン㈱ | ||||||||||
| 1976 | 1 | 「変調電極付きB-A型電離真空計による超高真空の圧力測定」 | 赤石憲也（名古屋大学） | 「極低分圧測定への試み」 | 三宅 寛，道嶋正美（神戸商船大学） | ||||||
| 1.「18-8ステンレス鋼における仕上面のオージェ電子スペクトロスコピーによる研究」2.「金属仕上面のオージェ電子スペクトロスコピーによる研究」3.「研磨による二酸化モリブデンの表面変形」 | 高橋昇，岡田勝蔵（山梨大学） | 「軸流分子ポンプ」 | ㈱大阪真空機器製作所 | ||||||||