産業部会　1月定例部会のお知らせ

　産業部会は，真空技術に関する多様な情報を紹介することを目的として活動を
続けております．第223回となる平成20年1月定例部会のプログラムをお知らせい
たします．
　前半は，マグネットを応用した非接触による駆動伝達とそのアプリケーション
に関するご講演です．真空装置は用途の広がりに伴って作業工程が複雑化し，真
空内の可動部が飛躍的に増加しています．そのため，真空内への駆動導入や移動
時の低発ガス，低発塵が重要な課題となっています．このテーマについて，マグ
ネットを応用したご提案をお話しいただきます．
　後半は，クラスターイオンビームに関するご講演です．1000を超える分子量を
持つ金属クラスター錯体は，それ自体が安定な気体分子となりうるため，同物質
をイオン源とすることにより，これまでは一般に大型真空装置を必要としていた
クラスターイオンビームを既存のSIMSなどの装置に容易に装着可能な小型のイオ
ン銃により発生することが可能となりました．このイオン銃の構造と性能，さら
に，シリコン等の固体表面を低侵襲かつ高分解能にスパッタできることを解説し
ていただきます．　　　　　　　　　　　　
　終了後には，講師を囲んでの懇親会も開催いたします．さらに深く突っ込んだ
ディスカッションや情報交換の場としてご活用ください．多数のご参加をお待ち
申し上げております．

日　時：平成20年1月22日（火）14:00-16:30
場　所：機械振興会館　B3-2号室（地下3階）
参加費：無　料

　　　　　　　　　　　　　　―プログラム―

開会挨拶　　　　　　（日本真空協会　産業部会長）　及川　永　14:00-14:10

１．クリーン化新時代「今，マグネットが面白い」
　　　　　　　　　　（（株）エフ・イー・シー）　野崎　敦雄　14:10-15:10

　　　　　　　　　　　　　　　　休　憩

２．クラスターイオンビームによる高分解能固体表面スパッタ
　（産業技術総合研究所　計測フロンティア部門）　野中　秀彦　15:30-16:30

なお，講演終了後，講師をお招きして懇親会（会費2,000円）を開催します．講
師への質問、相互の情報交換等，有意義なディスカッションができますので，こ
ちらにも多数ご参加下さい．

次回の開催予定：　平成20年3月19日（水）

申込み・問合せ先：日本真空協会事務局（荻野）
　　　　　　　　　〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8 機械振興会館306号室
　　　　　　　　　TEL:03-3431-4395　FAX:03-3431-5371
　　　　　　　　　E-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org