産業部会 ３月定例部会のお知らせ

　産業部会は，真空技術に関する多様な情報を紹介することを目的として活動を
続けております．第224回となる平成20年3月定例部会のプログラムをお知らせい
たします．
　前半は，真空装置メーカーによるご講演です．近年，真空を用いたプロセスに
おいてプラズマの利用が大変重要になってきました．そのプラズマプロセスへの
取り組みについて紹介していただきます．
　後半は，スパッタコーティング技術や表面精密研磨法を用いて開発した真空材
料，特に真空用潤滑材料についてレビューしていただきます．さらに，新開発の
コーティング技術についても紹介していただきます．
　終了後には，講師を囲んでの懇親会も開催いたします．さらに深く突っ込んだ
ディスカッションや情報交換の場としてご活用ください．
　多数のご参加をお待ち申し上げております．

日　時：平成20年3月19日（水）14:00-16:30
場　所：機械振興会館　B3-2号室（地下3階）
参加費：無　料

　　　　　　　　　　　　　　―プログラム―

開会挨拶　　　　　　（日本真空協会　産業部会長）　及川　永　14:00-14:10

１．プラズマプロセスへの取り組み状況について　　　　　　　　
　　　　　　　　（新明和工業(株)産機システム部）　沼田隆弘　14:10-15:10

　　　　　　　　　　　　　　　ー休　憩ー

２．表面改質による真空材料の開発　　　　　　　　　　　　　　
　　　（物質・材料研究機構　材料信頼性センター）　土佐正弘　15:30-16:30

なお，講演終了後，講師をお招きして懇親会（会費2,000円）を開催します．講
師への質問、相互の情報交換等，有意義なディスカッションができますので，こ
ちらにも多数ご参加下さい．

次回の開催予定：　平成20年5月14日（水）

申込み・問合せ先：日本真空協会事務局（荻野）
　　　　　　　　　〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8 機械振興会館306号室
　　　　　　　　　TEL:03-3431-4395　FAX:03-3431-5371
　　　　　　　　　E-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org