産業部会 3月定例部会のお知らせ

 産業部会は,真空技術に関する多様な情報を紹介することを目的として活動を
続けております.第224回となる平成20年3月定例部会のプログラムをお知らせい
たします.
 前半は,真空装置メーカーによるご講演です.近年,真空を用いたプロセスに
おいてプラズマの利用が大変重要になってきました.そのプラズマプロセスへの
取り組みについて紹介していただきます.
 後半は,スパッタコーティング技術や表面精密研磨法を用いて開発した真空材
料,特に真空用潤滑材料についてレビューしていただきます.さらに,新開発の
コーティング技術についても紹介していただきます.
 終了後には,講師を囲んでの懇親会も開催いたします.さらに深く突っ込んだ
ディスカッションや情報交換の場としてご活用ください.
 多数のご参加をお待ち申し上げております.

日 時:平成20年3月19日(水)14:00-16:30
場 所:機械振興会館 B3-2号室(地下3階)
参加費:無 料

              ―プログラム―

開会挨拶      (日本真空協会 産業部会長) 及川 永 14:00-14:10

1.プラズマプロセスへの取り組み状況について        
        (新明和工業(株)産機システム部) 沼田隆弘 14:10-15:10

               ー休 憩ー

2.表面改質による真空材料の開発              
   (物質・材料研究機構 材料信頼性センター) 土佐正弘 15:30-16:30

なお,講演終了後,講師をお招きして懇親会(会費2,000円)を開催します.講
師への質問、相互の情報交換等,有意義なディスカッションができますので,こ
ちらにも多数ご参加下さい.

次回の開催予定: 平成20年5月14日(水)

申込み・問合せ先:日本真空協会事務局(荻野)
         〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8 機械振興会館306号室
         TEL:03-3431-4395 FAX:03-3431-5371
         E-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org