産業部会 １０月定例部会のお知らせ

　産業部会は，真空技術に関する多様な情報を紹介することを目的として活動を続けて
おります．第225回となる5月定例部会のプログラムをお知らせいたします．
　前半は，真空計に関するご講演です．ご講演者は，各種圧力センサーのメーカーとし
ての実績をベースに，サファイヤダイアフラムを用いた静電容量型真空計を開発されま
した．数々の受賞で話題のこの真空計をご紹介いただき，次世代真空センサーについて
のご提言をいただきます．
　後半は，高真空排気系に関するご講演です．産業界で広く使用されている各種成膜用
装置では，粗引から高真空排気に切り換えた直後に過大ガス負荷が高真空ポンプに流れ
込み，油蒸気の逆流の原因になっています．この問題を解決できる先行低速度高真空排
気機構を備えた高真空排気系の設計ポイントについてお話しいただきます．
　終了後には，講師を囲んでの懇親会も開催いたします．さらに深く突っ込んだディス
カッションや情報交換の場としてご活用ください．
　多数のご参加をお待ち申し上げております．


日　時：平成20年10月15日（水）14:00〜16:30
場　所：機械振興会館　B3-2号室（地下3階）
参加費：無　料

　　　　　　　　　　　　　　―プログラム―

開会挨拶　　　　　　　　　（日本真空協会　産業部会長）　及川　永　14:00-14:10

１．次世代真空センサーについて
　　　　　　　　　　　　　（（株）テムテック研究所）　相澤　満芳　14:10-15:10

　　　　　　　　　　　　　　　−休　憩−

２．ダイナミックな高真空排気系における先行低速度高真空排気の利点
　　　　　　　　　　　　　　　　（前　日本電子(株)）　吉村　長光　15:30-16:30


なお，講演終了後，講師をお招きして懇親会（会費2,000円）を開催します．講師への
質問、相互の情報交換等，有意義なディスカッションができますので，こちらにも多数
ご参加下さい．

次回の開催予定：　平成20年12月3日（水）

申込み・問合せ先：日本真空協会事務局（荻野）
　　　　　　　　　〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8 機械振興会館306号室
　　　　　　　　　TEL:03-3431-4395　FAX:03-3431-5371
　　　　　　　　　E-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org