産業部会は，真空技術に関する多様な情報を紹介することを目的として活動を続けております．第238回と
なる12月定例部会は，新しい試みとして，前半にショートプレゼンテーションを2件お願いしました．これは，
かねてより要望のあったもので，皆様のご意見をいただき，今後の定例部会に反映させる予定です．
　定例部会終了後には，毎回恒例となっております講師を囲んでの懇親会を開催いたします．さらに深く
突っ込んだディスカッションや情報交換の場としてご活用ください．
  多数のご参加をお待ち申し上げます．


日　時：平成21年12月16日（水）14:00〜16:30
場　所：機械振興会館B3-1 号室（地下3 階）
参加費：無料

　
　　　　　　　　　　　　　　　ープログラムー

開会挨拶　　　　　　　　　（日本真空協会　産業部会長）　土岐和之　14:00〜14:10

１．スーパートラップと極低温冷凍機
          （アルバック・クライオ（株）技術部　室長）　村山　吉信　14:10〜15:10

　［講演要旨］

水に対して最大の排気能力をもち，装置設計にフレキシブルに対応することができるスーパートラップの排気原
理，種類，運用方法，実際の使用例について説明する．また，スーパートラップ，クライオポンプ，クライオスタット
に使用されるヘリウム冷凍機と，超伝導，医療機器，測定器分野で使用される4K冷凍機について紹介する．
 

　　　　　　　　　　　　　　　　　休　　憩


２．常温プラズマ結晶化技術　−多様な非晶質薄膜を常温下で，2分程度で結晶化する−
（(独) 産業技術総合研究所・エレクトロニクス研究部門）　大崎　　壽　15:30〜16:30

［講演要旨］

結晶性の薄膜を得るためには，通常，基板加熱のもとでの成膜，あるいは，成膜後の加熱処理が必要であり，
耐熱性に乏しいプラスティックなどの基板を用いることに困難がある．本技術は，容量結合型プラズマ中に非晶
質薄膜を置くことにより，短時間の結晶化を可能とするものである．効率的な結晶化は，プラズマガス種と投入
RF電力に依存し，基板や薄膜物質に依存しない最適のプラズマガス圧力（100−800 Pa）を選定することによ
り達せられる．一方，薄膜の成膜条件により結晶化の容易さが異なることから，結晶化のための最適の成膜条
件が存在し，また，このことから，逆に，同一物質からなる結晶膜，非晶質膜の多層膜を形成することも可能と
なる．


　講演終了後，講師をお招きして懇親会（会費3,000円）を開催します．講師への質問，相互の情報交等，
有意義なディスカッションができますので，こちらにも多数ご参加下さい．

◎次回の開催予定：平成22年1月21日(木)．

申込み・問合せ先：日本真空協会事務局（荻野）
　　　　　　　　　〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8 機械振興会館306号室
　　　　　　　　　TEL:03-3431-4395　FAX:03-3431-5371
　　　　　　　　　E-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org