第51巻第３号目次

第48回真空に関する連合講演会 プロシーディングス
　　　　　　　　　　−速　　報−

二段式流量分配法による分圧真空計の校正サービス
　--------------吉田　肇・新井健太・秋道　斉・平田正紘

理想的な円筒形からのずれによるオリフィスコンダクタンス
　の変化------------------城　真範・秋道　斉・平田正紘

軟X線多層膜鏡の形状誤差補正のための大面積イオン銃を用
　いたミリング装置の開発
　--------------戸坂亜希・酒井　優・津留俊英・山本正樹

高周波マグネトロンスパッタリング法におけるPb(Zr,Ti)O3
　膜のターゲット依存性--吉田大一郎・西　崇宏・岸田　悟

MgO(001)劈開面上の水酸基の観察
　------------------------牧田欧子・高木祥示・後藤哲二

SiC(0001)-(3×3)表面への銅フタロシアニン吸着の走査トン
　ネル顕微鏡観察------------------田中圭介・碇　智徳・
　　　　　　　　　　　　　内藤正路・西垣　敏・生地文也

Si(111)面におけるRuシリサイドの形成と成長過程
　----------------------寅丸雅光・小林直人・大野真也・
　　　　　　　　　　　　　首藤健一・宮本泰敬・河村紀一

電子誘起脱離が起こったイオン結晶に対する表面チャネリン
　グの観察--------------深澤優子・光原　圭・松本雄吾・
　　　　　　　　　　　　　　　　　　後藤友彦・鈴木康文

New Simple Photoemission Electron Microscope with an 
　Energy Filter-------Laszlo TOTH, Hiroyuki MATSUDA, 
　　 Tatsuya SHIMIZU, Fumihiko MATSUI, Hiroshi DAIMON

ネオン固体表面上からイオン衝撃脱離するクラスターイオン
　の観測--------------立花隆行・深井健太郎・藤田慎也・
　　　　　　　　　　　　　　　　　　小泉哲夫・平山孝人

高周波プラズマ支援スパッタリング法によるTi薄膜の構造お
　よび物性制御----------------------大谷寿幸・草野英二

Mn-Ir/Co-Fe積層膜の構造と磁気特性に及ぼすスパッタガス
　種の影響--------------今北健一・小林慶子・小野一修・
　　　　　　　　森田　正・山本直志・三沢俊司・村上裕彦

反射電子顕微鏡法とミクロ４端子プローブ法による表面・電
　気伝導その場計測---------?野慶佑・矢澤博之・箕田弘喜

大気圧プラズマジェット照射による銅ワイヤー絶縁被膜の局
　所剥離----------------------------吉木宏之・星川陽祐

水晶振動子センサー計測によるプラズマ気相成分の空間分布
　測定------------------------------鈴木　淳・野中秀彦

光照射を重畳したCF3イオンビームによるSiO2エッチング率
　の測定----------------幾世和将・吉村　智・滝澤敏史・
　　　　　　　　　　　　　唐橋一浩・木内正人・浜口智志

窒化ハフニウムフィールドエミッタアレイの耐久性の評価
　----宮田雄高・神澤太郎・後藤康仁・辻　博司・石川順三

ナノ粒子を利用した原子間力顕微鏡の探針先端形状効果の補
　正--------------------------------大西桂子・藤田大介

Organic Field-Effect Transistors Based on Vapor-Depos-
　ited Pentacene and Soluble Pentacene Precursor
　-----------Xin WANG, Shizuyasu OCHIAI, Kenzo KOJIMA,
　　　　　　　　　　Asao OHASHI and Teruyoshi MIZUTANI

パルスレーザー堆積法により作製した酸化亜鉛系透明導電膜
　の仕事関数制御--------吉田和夫・青木孝憲・鈴木晶雄・
　　　　　　　　　　　　　　　　　　松下辰彦・奥田昌宏

可塑性樹脂基板上に成膜したZnO膜の物性評価
　----------井上竜ノ介・吉田尚正・松田七美男・田巻　明

パルスレーザー堆積法によりシクロオレフィンポリマー基板
　に作製したアルミニウムドープ酸化亜鉛系透明導電膜
　----------------------中村篤宏・道畑良太・青木孝憲・
　　　　　　　　　　　　　鈴木晶雄・松下辰彦・奥田昌宏

誘導結合プラズマ支援型アンバランスマグネトロンスパッタ
　法によるCu薄膜の作製------------烏帽子良・村岡裕紀・
　　　　　　　　黒川重雄・橘　瑛宏・蓮井友城・川畑敬志

Nドープ酸化タングステン薄膜の作製と評価-----中川晃一・
　　　　　　　三浦　登・松本節子・中野鐐太郎・松本皓永

パルスレーザー堆積法により作製したモリブデン酸化物光記
　録膜の光記録特性------三代一真・青木孝憲・鈴木晶雄・
　　　　　　　　　　　　　　　　　　松下辰彦・奥田昌宏

反応性スパッタ法による酸化ビスマス薄膜の堆積とレーザー
　照射による光学特性変化
　--------------上村隆久・沖村邦雄・村田吉正・後藤廣則

オクタデシルトリクロロシラン処理された石英ガラス基板上
　のポリ(３-ヘキシルチオフェン)薄膜の形態と非線形光学
　特性------------------山田　有・落合鎮康・小嶋憲三・
　　　　　　　　　　　　　　　　　　大橋朝夫・水谷照吉

ポリ(3-ヘキシルチオフェン)を用いた光双安定素子の作成と
　その性能評価--------------------磯貝考治・落合鎮康・
　　　　　　　　　　　　　小嶋憲三・大橋朝夫・水谷照吉

フッ素樹脂をターゲットとして高周波スパッタリングにより
　作製した有機フッ素薄膜の特性
　------------------------毛塚和哉・上村彰宏・岩森　暁

ポリエステルフィルム上に成膜した金属蒸着膜の引張特性と
　密着性------------------北　拓也・斉藤　翔・岩森　暁

高周波電力を重畳した直流反応性スパッタ法によるTaAl-N薄
　膜の作製------------岡野夕紀子・田尻修一・青園隆司・
　　　　　　　　　　　　　岡本昭夫・小川倉一・美馬宏司

スピン量子十字構造の作製に向けたポリエチレンナフタレー
　ト有機膜上の強磁性ニッケル薄膜における表面観察
　------------------------海住英生・小野明人・石橋　晃

カーボンナノ粒子の生成に与える紫外線の効果とナノ粒子の
　強度評価------吉村敏彦・竹田浩輔・国貞安將・阿部浩也

低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いた
　SiO2/Si基板へのインジウムイオン注入-------日根清裕・
　　　　　　　　吉村　智・唐橋一浩・木内正人・浜口智志

高濃度オゾンによるSiC高速酸化と酸化膜の特性評価
　----野中秀彦・一村信吾・小杉亮治・福田憲司・荒井和雄

1,1,1,3,3,3-ヘキサメチルジシラザン(HMDS)とオゾンによる
　シリコン酸化膜成長：赤外吸収スペクトルによる解析
　----中村　健・野中秀彦・亀田直人・西口哲也・一村信吾

励起状酸素を用いたシリコン低温酸化の大型基板酸化への適
　用----------亀田直人・斉藤　茂・西口哲也・森川良樹・
　　　　　　　　　　　　　花倉　満・野中秀彦・一村信吾

　　　　　　　　　　−報　　告−

第48回真空に関する連合講演会開催報告
　--------------------------------杉山直治・佐々木正洋



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