日本真空学会 2014年5月研究例会主題「ターボ分子ポンプの最新動向」日本真空学会では真空の基礎となる技術について, 新規に開発されたもののみならず既に歴史のあるものについてもその最新 動向を見逃すことなく議論していきたいと考えています. 今回はターボ分子ポンプを取り上げます. 手軽に真空を作り出すこと のツールとしてターボ分子ポンプが開発され広く使われ出して既に半世紀以上がたちました. 今では真空に関わる者は誰もがそ の恩恵に浴しており, その重要性は誰もが認めるところです. そこで今回, その歴史と学術的基礎理論を今一度振り返った上で ターボ分子ポンプを製造しているメーカ各社と最先端の使い方をしているユーザからご講演いただくことで, 新たに実現した技 術, 現在の課題, 近未来に求められる新技術などを議論し, 今後のターボ分子ポンプの発展の方向性を見出す機会となることを 願っています. 案内（PDF 169KB） 主 催 一般社団法人 日本真空学会 協 賛 日本真空工業会 日 時 2014年5月23日(金) 11:00〜17:00（受付10:30〜） 会 場 機械振興会館 地下2階 B2-1号室 東京都港区芝公園3-5-8 http://www.jspmi.or.jp/kaigishitsu/access.html TEL 03-3431-4395（日本真空学会） 講演プログラム ■ 挨拶 （キヤノンアネルバ）中村 恵 11:00〜11:05 1. ターボ分子ポンプの誕生と成長 （秋田大学名誉教授）澤田 雅 11:05〜11:50 ― 休憩 ― 2. Oerlikon Leybold Vacuumターボ分子ポンプ 製品ラインアップとその特長 （エリコンライボルト）廣瀬 均 12:40〜13:05 3. ターボ分子排気システム−バックポンプを含めた総合的な小型化− （荏原製作所）小島 善徳 13:05〜13:30 4. エドワーズにおけるTMP製品開発への取り組み （エドワーズ）榎本 良弘 13:30〜13:55 5. ターボ分子ポンプの特性表記に関する問題提起 （大阪真空）藤田 孝一 13:55〜14:20 ― 休憩 ― 6. TwisTorr: The new spiral molecular drag stage for high compression ratio, compact turbomolecular-drag pumps （Agilent Technologies）Cristian Maccallone 14:35〜15:00 7. ＤＳＭＣ法のターボ分子ポンプへの適用 （島津製作所）筒井 慎吾 15:00〜15:25 8. 多段差動排気系をもつ質量分析計におけるﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟの使用例 （日本電子）西村 康範 15:25〜16:00 ■ 挨拶 （日本真空学会 講演・研究会企画委員会委員長，筑波大学）佐々木 正洋 16:00〜16:05 9. 交流会 16:05〜17:00 参加費（当日会場にてお支払いください） 日本真空学会会員，並びに協賛団体会員 2,500円（予稿集代を含む） 非会員 3,500円（予稿集代を含む） 学 生 無 料（予稿集を希望する場合は500円） 申込み・問い合わせ先 一般社団法人 日本真空学会 事務局 TEL 03-3431-4395 FAX 03-3433-5371 E-mail ofc-vsj@vacuum-jp.org URL http://www.vacuum-jp.org 本件担当 一般社団法人 日本真空学会 講演・研究会企画委員会（(株)大阪真空） 大林 哲郎 （キヤノンアネルバ(株)） 中村 恵 |