スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)
平成22年度技術講習会

　日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会では，毎年，
技術講習会を開催しております．平成22年度は，下記のとおり，プロセス用
プラズマの生成・計測・応用について徹底的に解説いたします．スパッタリ
ングや各種プラズマプロセスに携わる若手・中堅技術者に最適な講習会です．
多数のご参加をお待ち申し上げます．

　　　　　　　　　　　　　　　　　記

日　時　平成22年12月3日（金）午前 10:00 〜 12:00
　　　　　　　　　　　　　 　 午後　1:00 〜 4:30

会　場　機械振興会館6階6D-3号室

講　師　中村　圭二（中部大学工学部　電気システム工学科　教授）

題　目　プロセス用プラズマの生成・計測・応用

講義内容
１．プラズマ生成
　１．１　プラズマの構成粒子
　１．２　プラズマの電位とシース形成
　１．３　荷電粒子およびラジカルの生成と維持
　１．４　プラズマの各種生成法
　　　　　（直流放電、静電結合型高周波プラズマ、誘導結合型高周波プラズマ、
　　　　　　マイクロ波プラズマ）
２．プラズマのプロセスへの応用
　２．１　プロセスにおけるプラズマの役割
　２．２　プラズマに曝された表面での現象
　　　　　（堆積、エッチング、スパッタリング、注入）
　２．３　実際のプロセス例
３．プラズマ計測
　３．１　電気的手法〜ラングミュアプローブ
　３．２　波動的手法〜表面波プローブ(プラズマ吸収プローブ)
　３．３　光学的手法〜発光分光法、アクチノメトリ法、吸収分光法
　３．４　粒子的手法〜質量分析法、出現質量分析法

受講料（テキスト代と昼食代を含みます.）
スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会会員　18,000円
日本真空協会会員　　　　　　　　　　　　　　　　　38,000円
一般　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　42,000円

定員　30名
（スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会会員を優先させていただ
くことがございます．）

申し込み方法
　日本真空協会事務局に申し込み用紙をご請求の上，11月26日（金）までに
お申し込み下さい．なお，定員になりしだい締め切らせていただきます．

日本真空協会事務局　担当：大工原 (ダイクハラ)
　　　　　TEL: 03-3431-4395, FAX: 03-3433-5371 　
　　　　　e-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org