真空夏季大学　真空応用技術講座のご案内（予定）

日本真空協会が半世紀にわたって開催して参りました真空夏季大学は，真空工学の基礎を
系統的に学ぶことのできる場として高い評価をいただいております．しかしながら時間的
制約のために，真空夏季大学のカリキュラムの中により発展的な分野・応用分野を取り入
れることは困難な状況であり，真空協会会員や夏季大学受講生の皆様からは，応用技術分
野についての講義に対するご要望をいただいておりました．
　このようなご要望にお応えするため，2006年より真空応用技術講座を企画・開講して参
りました．この講座では，それぞれの分野の基本の理解を深めるとともに，実践のための
実力を養うことを目的として，少人数によるセミナー形式の講義を実施しております．
本年度は「真空夏季大学」の終了後，下記の二講座を並行して開講いたします．


(A) 「薄膜の基本技術」　金原 粲 講師（東京大学名誉教授）
　真空技術の重要な応用の一つである薄膜作製技術の解説を行う。薄膜作製にはいろいろ
の方法がある。しかしnm以下からμmまでの厚さで、かつ最大m2サイズの大面積の基板上
に、厚さ、組成、構造が一様な薄膜を作るには、ＰＶＤ、ＣＶＤなど真空を用いた薄膜作
製法にまさる方法は無いといってよい。とくに真空蒸着、スパッタリング、レ−ザ蒸着な
どＰＶＤと呼ばれる薄膜作製法は集積回路作製の重要な手段として、マイクロ・ナノプロ
セス分野で不可欠となっている。
　本講座では、まずＰＶＤによる薄膜作製装置の基本となる構成と実際の薄膜作製の手順
を述べる。次ぎに薄膜の典型的形態と薄膜の膜厚測定法を説明する。さらに薄膜の基板へ
の付着、内部応力の評価法など薄膜を応用する際にどのような薄膜にも共通する基本的な
技術を易しく解説する。


(B)「プラズマプロセッシングの基礎」　岡本 幸雄 講師（東洋大学理工学部）
　プラズマを用いた次世代のエッチングやデポジションなどのプラズマプロセスにおいて
は、制御された低温・高密度・高均一・大面積などの特性をもつたプラズマが必要になっ
ている。このためには、プラズマの基本的な性質をはじめその生成法や制御法および診断
法などの基本的なことを理解していることが不可欠となる。
　本講座では、�@プラズマの基本的な事柄であるプラズマの性質、デバイ長やプラズマ周
波数などの基本的な物理量、電磁界中の荷電粒子の運動、イオンシース、負イオン、ラジ
カルについて簡単に復習するとともに、�Aプロセスに用いられている各種プラズマ(容量
と誘導結合、電子サイクロトロン、表面波、マグネトロン、バリア放電)の生成原理と実
際および長所と課題について、そして、�Bプロセスで不可欠なラジカルなどの生成・制御
のための電子温度の制御法について、さらに、�Cラジカルや電子のエネルギー分布などプ
ラズマの主な計測法について解説する。


　これらの分野を基礎から研鑽したいと希望しておられる技術者・研究者の方々に是非
ご参加頂きたく，ご案内申し上げます．夏季大学修了の方々には，引き続きこの真空応用
技術講座の受講をご検討下さいますようご案内申し上げます．また，日帰りにて真空応用
技術講座のみを受講されても差し支えございません． 

日　時（予定）：　平成23年9月9日(金) 13:00〜16:15
会　場（予定）：　ヤマハリゾートつま恋　　〒436-0011静岡県掛川市満水2000
　　　　　Tel: 0537-24-1111, http://www.tsumagoi.net/
受講料：　未定
定　員（予定）：　講義(A), (B)とも20名
申込手続は「真空夏季大学」と同様ですのでそちらをご覧下さい．

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