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「Journal of the Vacuum Society of Japan」誌
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スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会

細則に記された活動目的は以下の通りです.

第16条 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会は,スパッタリング成膜プロセスの産業界との連携ならびにプラズマ関連学術分野の推進につとめる.
 
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