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スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会 第14回技術交流会・第156回定例研究会<申込受付中>

12月 14日 @ 13:00 - 18:30

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)
第14回技術交流会・第156回定例研究会
<ポスター発表募集中>

SP部会では,会員相互の技術情報交換の場を提供するために,技術交流会を企画しています.毎回ご好評をいただいており,今年で14回目となります.ショートプレゼンテーションとポスター発表をあわせた形とし,かつポスターセッションは懇親を兼ねる形といたします.通常の定例研究会では,会員相互が情報を交換する機会が限定され,せっかく同じ部会に所属していることのメリットを十分に活かせておりませんでした.この技術交流会を機会に是非会員相互で有益な技術情報を交換していただき,会員各社のさらなる技術的発展につながればと考えております.また,ショートプレゼンテーションに先立って,第156回定例研究会として,先日開催されたISSP2017でポスター賞を受賞された2件の技術講演を含む3件のご講演を企画しております.部会員以外の方の参加も歓迎いたします.皆様の奮ってのご参加をお待ちしております.なお,ポスター発表者の当日(定例研究会と技術交流会)の参加費は無料です.

 

日 時
2017年12月14日(木) 13:00~18:30
場 所
機械振興会館 6階 6-66号室 (東京都港区芝公園3-5-8) 交通アクセス

プログラム
定例研究会
ISSP2017 Poster Award 受賞記念講演(2件,講演は日本語)
(1)13:00~13:20
Effect of gaseous impurity level of sputtering target on the piezoelectric property of Al-Sc-N thin film
○Yasushi Morii,Yuichiro Nakamura,Takeo Okabe,Yoshimasa Koido,Hideyuki Takahashi
JX Nippon Mining & Metals Corporation,Japan

(2)13:20~13:40
Growth of VO2 thin films on transparent conductive Al-doped ZnO films on glass substrates
○Hiroaki Hoshino1),Kenta Sato1),Md.Suruz Mian1),Yoshio Yasumori2),Kunio Okimura1)
1)School of Engineering,Tokai University,Japan,2)Tokai Univ.Ctr.Educ.Res.Dev.,Japan

(3)13:40~14:20
新しいワイドギャップp型酸化物半導体(産業技術総合研究所 電子光技術研究部門)  菊地直人

―休 憩―

技術交流会
(4)14:40~16:40   ショートプレゼンテーション (1件8分程度 × MAX15件予定)

(5)17:00~18:30   ポスターセッション

◆ポスター発表を募集いたします◆
ポスター発表のみでも結構ですが,できるだけショートプレゼンもお願いいたします.
発表内容については特に制限を設けません.新製品の宣伝的な内容,困り事の相談的な内容でも結構です.
研究機関等にご所属の方の研究紹介も歓迎します.
発表を希望される方は,以下の申し込みページよりお申し込みください.
申込方法
 こちらの申し込みページからお申込みください.
 ※お申込み完了後,受付完了メールが自動返信されます.
   受付完了メールが届かない場合は,事務局までご連絡ください.
発表申込期限
 11月22日(水) (それ以後はお問合せください)
アブストラクト(A4 用紙1枚)提出期限
 11月30日(木)
第1~13回ポスター発表参加者
大阪大学,金沢工業大学,関東学院大学,京都大学,近畿大学,信州大学,成蹊大学,千葉工業大学,中部大学,東海大学,東京大学,東京理科大学,東北大学,東洋大学,名古屋大学,兵庫県立大学,法政大学,AGCセラミックス(株),(株)COMET,秋田県産業技術総合研究センター,旭硝子(株),(株)アルバック,アルバックテクノ(株),(株)イー・エム・ディー,イーグル工業(株),(株)大阪真空機器製作所,オリンパス(株),キヤノン(株),キヤノンアネルバ(株),芝浦メカトロニクス(株),(株)昭和真空,(株)シンクロン,助川電気工業(株),(株)スピネット,セントラル硝子(株),大亜真空(株),東京電子(株),(株)日鉱マテリアルズ,日本真空光学(株),日本ビクター(株),(株)ブリヂストン,平和電機(株)(旧称:平和電源),ペガサスソフトウエア(株),(株)ホンダロック,都城工業高等専門学校,(株)村田製作所
(敬称略,五十音順)

 

参加費 ※当日受付にてお支払いください.
1.SP部会員  無 料
2.日本真空学会個人会員  23,000円
3.日本真空学会法人会員  18,000円
4.教育機関,公的機関に属する者  12,000円
5.学生   5,000円
6.一般  28,000円
7.ポスター発表者  無 料
申込方法
こちらの申し込みページからお申込みください.
※お申込み完了後,受付完了メールが自動返信されます.
受付完了メールが届かない場合は,事務局までご連絡ください.
問合せ先
一般社団法人日本真空学会 事務局
TEL: 03-3431-4395  FAX: 03-3433-5371  E-mail: ofc-vsj@vacuum-jp.org

主催者

日本真空学会